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智能控温烘箱是针对光刻工艺中hmds预处理的设备，被广泛的应用于半导体生产加工等方面使用，可见烘箱温度控制的重要性，要掌控温度必然需要精密的温度传感器，以确保温度准确有效控制。因此温度的控制自然成了工业烤箱、烘箱、高温烘箱的基本技术，为保证温度控制的准确性及故障信息反映的及时性，烘箱内必须具有精密的温度传感器测试系统。
智能控温烘箱的安全操作规程：
1、烘箱要按照铭牌上所规定的温度范围使用，烘箱必须保持接地良好。
2、烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉纱、布屑等易燃物品，不得在电烘箱旁进行洗涤、刮漆和喷漆等工作。
3、要防止其他物件落入烘箱底部与电阻丝接触造成短路。
4、打开电烘箱前，必须先断电。加温过程中操作者不得离开。
5、不得在电烘箱内存放物品，如工具，器材零件及油料挥发物。
6、经过汽油、煤油、酒精、香蕉水易燃液洗涤过的零件及喷漆过的物品，应在室温下放置15到30分钟，待绝大部分易燃液体挥发后，才能放入HMDS烘箱内烘烤，室内应注意通风。
7、烘箱在工作时不得进行清洁工作，更不得用汽油擦拭。
8、非金属物品放入电烘箱内加温，一定要按照工艺规程进行。
9、使用前要检查自控装置，指示信号是否灵敏有效，电气线路绝缘是否完好可靠。
